表面波励起マイクロ波プラズマによる大面積基板への配向カーボンナノチューブの作製
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概要
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Large-area synthesis of well-aligned carbon nanotubes (CNTs) by surface-wave-excited microwave-plasma chemical vapor deposition (CVD) using slot antennas has been developed. By a one-slot antenna system, aligned CNTs were successfully synthesized on a 3 × 3 cm<SUP>2</SUP> substrate. In order to synthesize on a larger-area substrate, we generated large-area surface-wave-plasma by a two-slot antenna system and synthesized CNTs on substrates set at the center and around the edge of a 7.5 × 7.5 cm<SUP>2</SUP> substrate holder. Grown CNTs were aligned and uniform in diameter and density. Surface-wave excited microwave-plasma CVD has a potential for large-area synthesis of well-aligned carbon nanotubes.
- 日本真空協会の論文
- 2003-03-20
著者
-
林 裕之
京都工芸繊維大学工芸学部
-
西野 茂
京都工芸繊維大学工芸学部
-
林 康明
京都工芸繊維大学大学院
-
西野 茂弘
京都工芸繊維大学・工芸
-
林康 明
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
-
古賀 瑞帆
京都工芸繊維大学工芸学部
-
頭島 淳
京都工芸繊維大学工芸学部
-
高橋 一正
京都工芸繊維大学工芸学部
-
西野 茂弘
京都工芸繊維大学大学院電子情報工学専攻
-
西野 茂弘
京都工芸繊維大学
-
林 康明
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
Hayashi Yutaka
Device Synthesis Section Electrotechnical Laboratory
-
Hayashi Y
Ricoh Co. Ltd. Kanagawa Jpn
-
Hayashi Yuzo
Irie Koken Co. Ltd.
-
Hayashi Y
Irie Koken Co. Ltd. Saitama Jpn
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