Diagnostics of Fluorocarbon Radicals in a Large-area Permanent Magnet Electron Cyclotron Resonance Etching Plasma
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1996-12-30
著者
-
林 康明
京都工芸繊維大学大学院
-
林康 明
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
-
林 康明
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
Hayashi Yutaka
Device Synthesis Section Electrotechnical Laboratory
-
Goto Takaaki
Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
Hayashi Yuzo
Irie Koken Co. Ltd.
-
Hayashi Y
Irie Koken Co. Ltd. Saitama Jpn
-
Den S
Irie Koken Co. Ltd.
-
SAKAMOTO Yuichi
Nichimen Electronic Technology Corporation
-
Sakamoto Y
Department Of Applied Chemistry Tokyo Metropolitan University
-
DEN Shoji
Deptartment of Quantum Engineering, School of Engineering, Nagoya University
-
KUNO Tatsushi
Deptartment of Quantum Engineering, School of Engineering, Nagoya University
-
ITO Masafumi
Deptartment of Quantum Engineering, School of Engineering, Nagoya University
-
HORI Masaru
Deptartment of Quantum Engineering, School of Engineering, Nagoya University
-
GOTO Toshio
Deptartment of Quantum Engineering, School of Engineering, Nagoya University
-
後藤 俊夫
Imram Tohoku University
-
Kuno Tatsushi
Deptartment Of Quantum Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Sakamoto Yuichi
Nichimen Electronic Technology Corp.
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