In Situ Hydrogenation of Amorphous Silicon Prepared by Thermal Decomposition of Disilane
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-10-01
著者
-
林 康明
京都工芸繊維大学大学院
-
林康 明
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
-
林 康明
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
Hayashi Yutaka
Device Synthesis Section Electrotechnical Laboratory
-
Hayashi Yuzo
Irie Koken Co. Ltd.
-
Sakata I
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist) Ibaraki Jpn
-
Sakata Isao
Device Synthesis Section Electrotechnical Laboratory
-
Sakata Isao
Electron Devices Division Electrotechnical Laboratory
-
YAMANAKA Mitsuyuki
Device Synthesis Section, Electrotechnical Laboratory
-
Yamanaka M
Electron Devices Division Electrotechnical Laboratory
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