白藤 立 | 京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

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概要

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関連著者

• 白藤 立

  京都大学

• 白藤 立

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 林 康明

  京都工芸繊維大学大学院

• 林康 明

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 林 康明

  京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科

• Hayashi Yutaka

  Device Synthesis Section Electrotechnical Laboratory

• Hayashi Yuzo

  Irie Koken Co. Ltd.

• 白藤 立

  京大

• 西野 茂

  京都工芸繊維大学工芸学部

• 橘 邦英

  愛媛大学大学院工学研究科電子情報工学専攻

• 西野 茂弘

  京都工芸繊維大学・工芸

• 西野 茂弘

  京都工芸繊維大学大学院電子情報工学専攻

• 西野 茂弘

  京都工芸繊維大学

• Hayashi Y

  Irie Koken Co. Ltd. Saitama Jpn

• 橘 邦英

  京都工芸繊維大学

• 橘 邦英

  京都大学工学研究科

• 橘 邦英

  京都工繊大工芸

• 橘 邦英

  京工繊大

• 中神 優子

  京都工芸繊維大学 工芸学部 電子情報工学科

• 澤田 真人

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• Tachibana Kunihide

  Department Of Electronics And Information Science Kyoto Institute Of Technology:department Of Electr

• 中島 伸二

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 酒井 道

  京都大学工学研究科

• 酒井 道

  京都大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 中山 孝文

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 森田 直祐

  京都大学

• 酒井 道

  京都大学

• 橘 邦英

  京都大学

• 酒井 道

  京都大学工学部

• 宮崎 康雄

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 白藤 立

  京都大学 国際融合創造センター

• 橘 邦英

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 西村 好康

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 白藤 立

  京都大学国際融合創造センター

• 森田 達夫

  シャープ

• 陳 義

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 増田 泰一

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• Jacob C.

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• Jacob C

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 陳 義

  京都工芸繊維大学

• 増田 泰一

  京都工芸繊維大学

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著作論文

• 水面上及び水中気泡内放電における化学反応機構
• 低誘電率層間絶縁膜のプラズマ化学気相堆積
• HMDSO添加のフロロカーボンプラズマを用いた低誘電率絶縁膜のCVD
• Si(NCO)_4添加のフロロカーボンプラズマを用いた低誘電率絶縁膜のCVD
• テトライソシアネートシランを用いたSiO_2膜の堆積
• プラズマCVDによるpoly-Si膜の低温形成過程のインプロセス偏光解析モニタリング
• テトライソシアネートシランを用いたSiO:F膜のプラズマCVD
• DVS-BCBを用いた低誘電率膜堆積プラズマプロセスのその場FTIR気相診断(半導体Si及び関連材料・評価)
• 薄膜トランジスタ用多結晶シリコンの低温堆積過程
• SiF_4/SiH_4/H_2混合ガスRF放電プラズマCVDによるポリシリコン堆積過程のその場分光エリプソメトリー
• 常圧CVDによるHMDSを用いたSi基板上への3C-SiCエピタキシャル成長(半導体Si及び関連電子材料評価)
• フルオロカーボンプラズマCVDにおけるガスケミストリーと膜物性および大気温暖化問題

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