白藤 立 | 京都大学国際融合創造センター
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概要
関連著者
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白藤 立
京都大学国際融合創造センター
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白藤 立
京都大学 国際融合創造センター
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橘 邦英
京都大学工学研究科
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橘 邦英
京都工繊大工芸
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白藤 立
京都大学
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橘 邦英
京工繊大
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橘 邦英
愛媛大学大学院工学研究科電子情報工学専攻
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白藤 立
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
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西村 好康
京都大学工学研究科電子工学専攻
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Tachibana Kunihide
Department Of Electronics And Information Science Kyoto Institute Of Technology:department Of Electr
著作論文
- 8. フルオロカーボンプラズマCVDを用いた低誘電率薄膜の作製(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- DVS-BCBを用いた低誘電率膜堆積プラズマプロセスのその場FTIR気相診断(半導体Si及び関連材料・評価)
- C_6F_6プラズマを用いた高耐熱性低誘電率薄膜の作成 : プラズマ診断と膜構造物性評価
- 平成18年度 日本真空協会関西支部第1回講演会