C_6F_6プラズマを用いた高耐熱性低誘電率薄膜の作成 : プラズマ診断と膜構造物性評価

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2006-07-10

著者

• 白藤 立

  京都大学 国際融合創造センター

• 白藤 立

  京都大学国際融合創造センター

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