ECRスパッタ法による強誘電体薄膜(BIT,BNN)の合成とその物性 (特集 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性)

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概要

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• ティ-・アイ・シ-の論文

著者

• 増本 博

  東北大学金属材料研究所

• 増田 陽一郎

  八戸工業大学

• 増田 陽一郎

  八戸工大 工

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