誘導コイル結合型スパッタリングによるYBa_2Cu_3O_y薄膜の作製
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概要
著者
-
大嶋 重利
山形大学工学部
-
増本 博
東北大学金属材料研究所
-
大須賀 彰
山形大学工学部電子情報工学科
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江畑 克史
山形大学
-
楠 正暢
山形大学工学部電子情報工学科
-
江畑 克史
山形大学工学部電子情報工学科
-
平井 敏雄
東北大学金属材料研究所
-
江畑 克史
山形大学工学部
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