NbN薄膜を用いた分割型マイクロストリップラインフィルタの耐電力特性(マイクロ波,超電導)
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概要
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送信用超伝導フィルタ応用のためにエピタキシャルNbN薄膜を用いた分割型マイクロストリップライン共振器(MSLR)フィルタの設計・作製を行い,非分割型MSLRフィルタとの周波数特性,及び耐電力特性の比較を行った.結晶性,臨界温度,表面抵抗の評価から,反応性DCマグネトロンスパッタリングにより作製したNbN薄膜の品質はフィルタの試作に十分であった.NbN分割型及び非分割型3段MSLRフィルタの周波数特性は設計とほぼ一致した.NbN分割型3段MSLRフィルタの耐電力は非分割型3段MSRLフィルタに対して2.5dBm向上した.この結果は共振器分割が耐電力特性の向上に有効な手法の一つであることを示唆している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-04-15
著者
-
小野 哲
山形大学大学院理工学研究科
-
加藤 卓也
山形大学大学院理工学研究科
-
宇野 正紘
山形大学大学院理工学研究科
-
齊藤 敦
山形大学工学部
-
大嶋 重利
山形大学工学部
-
太田 茂弘
山形大
-
李 宰勲
山形大学
-
宇野 正紘
山形大学工学部
-
竹内 慎治
山形大学工学部
-
李 宰勲
山形大学工学部
-
木野内 大樹
山形大学工学部
-
加藤 卓也
山形大学工学部
-
太田 茂浩
山形大学工学部
-
小野 哲
山形大学工学部
-
加藤 卓也
山形大学
-
齊藤 敦
山形大工
-
斉藤 敦
長岡技科大工学部電気系
-
太田 茂浩
山形大
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