高温超伝導体フィルタ用薄膜の作製と評価(エレクトロニクス)
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概要
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r, c, a面サファイア基板上にYBCO/Ce0_2薄膜の作製を行い、結晶性及び電気特性の比較を行った。a面サファイア基板上のYBCO薄膜はc軸配向を示し、臨界温度T_cはr面サファイア基板を用いたときとほぼ同じ88.6 Kを示した。ECRドライエッチング装置でのエッチング特性を調べ、20 mmφでのエッチングレートのばらつきが4.3%以内の均-一性を得た。3段、5段チェビシェフ型フィルタを用いたデュプレクサの設計を行った。フィルタを多段化することによって、フィルタのより急峻なスカート特性が得られ、デュプレクサの分配性能が向上することがシミュレーションにより確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-10-10
著者
-
齊藤 敦
山形大学工学部
-
大嶋 重利
山形大学工学部
-
向田 昌志
山形大学工学部
-
白川 政信
山形大学工学部
-
齊藤 敦
山形大工
-
相田 史裕
山形大学工学部
-
竹澤 基範
山形大学工学部
-
安達 学人
山形大学工学部
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