スピンコート法によるYBCO薄膜の作製と評価2(デバイス・一般)
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概要
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フッ素フリーの塗布液を用いて、スピンコート法によってCeO_2をバッファー層とするR面サファイア基板上にYBa_2Cu_3O_<7-δ>(YBCO)薄膜の作製を行った。その結果、YBCO薄膜はc軸配向を示し、面内には4回対称を示した。その時、800℃でバッファー層のアニールを行い、表面の平滑化をすることによって、YBCO薄膜のc軸方向の揺らぎδωの向上が見られた。また、面内配向性は本焼時の昇温レートに依存することが分かった。この面内配向がより良くなる昇温レートは、((1)室温から650℃まで200℃/min(2)650℃から760℃まで40℃/min)である。また、超伝導転移温度Tcは89Kを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-01-16
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