スピンコート法によるYBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜の作製における2段階昇温の有効性

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概要

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• 低温工学協会の論文
• 2004-08-25

著者

• 齊藤 敦

  山形大学工学部

• 大嶋 重利

  山形大学工学部

• 向田 昌志

  山形大学工学部

• 齊藤 敦

  山形大工

• 松本 智之

  山形大学工学部電気電子工学科

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