誘電体ロッドトリミングによる超伝導フィルタの特性改善(マイクロ波超伝導/一般)

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概要

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用いた基板の厚みや比誘電率のばらつき、作製プロセスによる共振器長の変化等によりフィルタ特性が劣化してしまった超伝導フィルタの特性を改善する方法として、サファイアロッドトリマーを検討した。サファイアロッドの位置、配置の仕方等を検討し、超伝導フィルタの特性を改善できることを明らかにした。この方法は各共振器に対してトリミングが可能であるため、共振周波数のシフトと合わせて、フィルタ特性の改善にも非常に効果的であることを明らかにした。しかし、フィルタ特性(周波数をシフトさせる調節)を大幅に改善させるためにはサファイア(ε r=9.9)より高誘電材料を用いたトリミングが必要である。従って、比誘電率が20,39,42の材料を用いてその特性比較も検討した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2003-04-16

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