プローブ結合型マイクロストリップ線路共振器法による表面抵抗の測定精度に関する検討 : 測定精度に与えるキャビティの形状効果
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概要
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超伝導薄膜の表面抵抗の測定のために, マイクロストリップ線路共振器(MSR)法が用いられている. 我々は,プローブ結合型MSR法検討している. この方法により, 薄膜に対して非接触で表面抵抗の測定ができる. 表面抵抗を正確に求めるためには, 高精度でQ値測定ができる技術が必要とされる. 本論文では, 測定精度に与えるキャビティの形状効果について報告する. 超伝導薄膜の表面抵抗を精度よく測定するためには, キャビティの天井とアンテナの位置が重要であることが明らかとなった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-04-23
著者
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