酸化物高温超伝導薄膜作製に対する誘導コイル結合型スパッタリング法の検討
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概要
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- 1997-05-14
著者
-
大嶋 重利
山形大学工学部
-
江畑 克史
山形大学
-
楠 正暢
山形大学工学部電子情報工学科
-
江畑 克史
山形大学工学部電子情報工学科
-
岡井 大祐
山形大学工学部
-
岡井 大祐
姫路工業大学工学部
-
江畑 克史
山形大学工学部
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