TE_<011>分割円筒空洞共振器法によるPZT厚膜の複素誘電率測定法の基礎検討
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概要
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厚さ0.5mm、直径φ2インチの99.5%アルミナ基板上に化学溶液法により2μm厚のPZT膜を合成し、TE_<011>分割円筒空洞共振器法によりこの試料の複素誘電率を測定した。その結果、今回合成した材料について10GHz帯での比誘電率は51〜57程度、tanδは0.0073〜0.0079程度となることが確認され、PZTのマイクロ波デバイスへの応用のための基礎資料を提供できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-04-10
著者
-
柴田 幸司
八戸工業大学工学部電子知能システム学科
-
増田 陽一郎
八戸工業大学
-
柴田 幸司
八戸工業大学
-
飯島 高志
独立行政法人産業技術総合研究所水素材料先端科学研究センター
-
飯島 高志
産業技術総合研究所水素材料先端科学研究センター
-
飯島 高志
産業技術総合研究所
-
飯島 高志
産業技術総合研
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