分割円筒空洞共振器法によるPZT厚膜の複素誘電率測定における横共振法および摂動法の適用(マイクロ波信号発生と計測技術/一般)
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概要
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TE_<011>分割円筒空洞共振器法による厚さ0.2mmの鏡面研磨されたアルミナ基板上に化学溶液法により合成した2μm厚のPZT膜の複素誘電率の推定において、共振周波数と誘電体Qの計算に横共振法および摂動法を適用し、先に推定した値との比較による検証を行った。その結果、比誘電率およびtanδ共に一定以内の差異となることを確認し、測定結果の妥当性を示すことが出来た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-06-20
著者
-
柴田 幸司
八戸工業大学工学部電子知能システム学科
-
増田 陽一郎
八戸工業大学
-
柴田 幸司
八戸工業大学
-
飯島 高志
独立行政法人産業技術総合研究所水素材料先端科学研究センター
-
飯島 高志
産業技術総合研究所水素材料先端科学研究センター
-
飯島 高志
産業技術総合研究所
-
飯島 高志
産業技術総合研
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