電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッター法で作製されたc軸配向 Ba_2NaNb_5O_<15>膜の光学特性
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概要
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Thin films of Ba_2NaNb_5O_<15> (BNN) with (001) orientation were formed on sapphire (0001) substrates by electron cyclotron resonance plasma sputtering using ring shaped targets. The thin films were obtained at a substrate temperature of 773 K using a target of Ba : Na : Nb= 1.2 : 1.2 : 5.0 composition. The surface of BNN thin films was flat. The thickness of BNN thin films was estimated to be 7.2 μm. The absorption edge of BNN films was about 310 nm. The transmittance in the wavelength between 400 and 2500 nm was more than 75%.The refractive index of the film was estimated to be 2.25-2.34 at 1100 to 2500 nm.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1997-08-01
著者
-
増本 博
東北大学金属材料研究所
-
平井 敏雄
東北大学金属材料研究所
-
増田 陽一郎
八戸工業大学
-
渡津 章
東北大学金属材料研究所
-
増田 陽一郎
八戸工大 工
-
増田 陽一郎
八戸工科大学工学部電気工学科
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