マイクロ波プラズマ CVD 法を用いた Al-C-O-N 膜の合成

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概要

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• 1993-02-01

著者

• 平井 敏雄

  東北大学金属材料研究所

• 佐々木 眞

  室蘭工業大学工学部材料物性工学科

• 佐々木 眞

  東北大学金属材料研究所

• 染野 義博

  アルプス電気(株)

• 染野 義博

  アルプス電気(株)第一機構事業部

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