染野 義博 | アルプス電気(株)
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概要
関連著者
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平井 敏雄
東北大学金属材料研究所
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染野 義博
アルプス電気(株)
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染野 義博
アルプス電気(株)第一機構事業部
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増本 博
東北大学金属材料研究所
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王 新栄
東北大学金属材料研究所
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佐々木 眞
室蘭工業大学工学部材料物性工学科
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佐々木 眞
東北大学金属材料研究所
著作論文
- ヘリコンスパッタ法により作製したTiO_2/SiO_2多層膜の微細構造および光学特性
- 屈折率傾斜SiO_2-TiO_2薄膜の光学特性
- マイクロ波プラズマ CVD 法を用いた Al-C-O-N 膜の合成