化学気相析出法によるTiC/C系傾斜機能材料の合成
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概要
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Plate-like deposits having a compositional gradient from TiC-91. 5mol%C to TiC were obtained on a graphite substrate by chemical vapor deposition (CVD). The CVC conditions used were as follows; a TiCl<SUB>4</SUB>-CH<SUB>4</SUB>-H<SUB>2</SUB> system, a deposition temperature of 1673K, a total gas pressure of 1.3kPa, and a gas concentration ratio (mC/Ti) of 30.4 to 3.7. Cracks were observed in TiC-coated graphite (TiC NFGM), however, no crack in TiC/C FGMs. The cracking in TiC NFGM was thought to be due to the hoop and radial tensile stresses generated after CVD coating. Introduction of the C/TiC graded layer between the TiC layer and the substrate is effective to reduce the residual thermal stress.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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