低湿度雰囲気における液晶表示装置向け高温ポリシリコン用ガラス表面への水分吸着量
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概要
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薄型表示装置の基板材料としてガラスが使用され、ガラス基板表面にシリコン薄膜を蒸着後、液晶制御用の半導体回路が形成される。薄型表示装置は高速化、高精細化および省電力化等を目的として微細化が進んでおり、最先端の半導体デバイスに類似した有機汚染物質対策が必要になると考えられる。本研究では、基板表面への有機汚染物質吸着に影響するとされる水分吸着量を把握するため、低湿度雰囲気(14〜1000ppb)における水分吸着実験を行った。API-MSを用いた実験によって、高温ポリシリコン用ガラス基板表面への水分吸着量を求め、BET吸着等温式にてまとめた。気中水分濃度10ppbレベルにて、水分吸着量が1ng/cm^2以下になることを示した。
- 2007-04-05
著者
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
永坂 茂之
新日本空調
-
三浦 邦夫
新日本空調(株)
-
高塚 威
新日本空調(株)技術開発研究所
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
神戸 正純
新日本空調(株)
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
古山 通久
東京大学大学院工学系研究科 化学システム工学専攻
-
神戸 正純
新日本空調株式会社 技術開発研究所
-
Kubo Momoji
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
高塚 威
新日本空調株式会社 技術開発研究所
-
永坂 茂之
新日本空調(株)技術研究所
-
神戸 正純
新日本空調
-
宮本 明
東北大学未来科学共同研究センター:東北大学大学院工学研究科化学工学専攻:東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
三浦 邦夫
新日本空調
-
高塚 威
新日本空調
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