マルチスケール配線寿命予測シミュレータの開発とCu配線への応用(プロセス科学と新プロセス技術)
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概要
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当研究室で新たに開発したキネティックモンテカルロ法シミュレータによりデバイスレベルのエレクトロマイグレーション現象の再現に成功した.さらにこの現象をミクロレベルで理解する目的で,同じく当研究室で開発した電気伝導特性推算シミュレータにより求めた原子レベルの局所的な電子流密度を基礎データとして電子風力の空間分布を推算し,原子レベルでのエレクトロマイグレーションついて検討した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-10-02
著者
-
鈴木 愛
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
畠山 望
東北大学工学研究科応用化学
-
高羽 洋充
東北大学工学研究科化学工学
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
遠藤 明
東北大
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
畠山 望
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
Kumagai M
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
鈴木 愛
東北大学大学院工学研究科
-
サヌーン リアド
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
古山 通久
九州大学稲盛フロンティア研究センター
-
デルカルピオ カルロス
東北大学大学院工学研究科
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
古山 通久
東京大学大学院工学系研究科 化学システム工学専攻
-
古山 通久
東京大学大学院工学系研究科
-
坪井 秀行
三井造船
-
Riadh Sahnoun
Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Del Carpio
東北大学 大学院工学研究科応用化学専攻
-
久保 百司
Fracture And Reliability Res. Inst. Graduate School Of Engineering Tohoku Univ.
-
Kubo Momoji
Department Of Materials Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Kubo Momoji
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Koyama Michihisa
Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
古山 通久
九州大学稲盛フロンティア研究センター/カーボンニュートラル・エネルギー国際研究所
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科
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