自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
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概要
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従来まで当研究室で開発してきた超高速化量子分子動力学法プログラムは古典ポテンシャルヘの量子化学計算データの組み込みを手作業で行っていたが、今回これを自動化したプログラムを開発した。さらに本研究では同プログラムを駆使してシリコン表面の酸化反応プロセスのダイナミクスを解析したので報告する。
- 2010-11-04
著者
-
鈴木 愛
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
畠山 望
東北大学工学研究科応用化学
-
高羽 洋充
東北大学工学研究科化学工学
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
林 由紀江
東北大
-
三浦 隆治
東北大
-
遠藤 明
東北大
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
稲葉 賢二
東北大学大学院工学研究科
-
畠山 望
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
Kumagai M
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
南雲 亮
九州大学稲盛フロンティア研究センター
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
三井造船
-
久保 百司
Fracture And Reliability Res. Inst. Graduate School Of Engineering Tohoku Univ.
-
三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
伊勢 真理子
東北大学大学院工学研究科
-
林 由紀江
東北大学大学院工学研究科
-
鈴木 裕佳
東北大学大学院工学研究科
-
佐藤 裕美
東北大学大学院工学研究科
-
小原 幸子
東北大学大学院工学研究科
-
南雲 亮
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
Kubo Momoji
Department Of Materials Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
南雲 亮
東北大学未来科学共同研究センター
-
Kubo Momoji
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Koyama Michihisa
Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科
-
鈴木 愛
東北大学未来科学共同研究センター
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