自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用(プロセス科学と新プロセス技術)
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概要
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外部の量子化学計算プログラムを呼び出してエネルギー計算を行い得られた原子間エネルギーを元に分子動力学用ポテンシャルパラメータをフィッティングする機能を既存の分子動力学計算プログラムに導入することで,化学反応を考慮した分子動力学シミュレーションの実現に成功した.この新開発プログラムを用いることによりシリコン表面の酸化反応プロセスのダイナミクスを解析することが可能となった.
- 2010-10-14
著者
-
鈴木 愛
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
畠山 望
東北大学工学研究科応用化学
-
高羽 洋充
東北大学工学研究科化学工学
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
林 由紀江
東北大
-
三浦 隆治
東北大
-
遠藤 明
東北大
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
稲葉 賢二
東北大学大学院工学研究科
-
畠山 望
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
Kumagai M
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
南雲 亮
九州大学稲盛フロンティア研究センター
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
三井造船
-
久保 百司
Fracture And Reliability Res. Inst. Graduate School Of Engineering Tohoku Univ.
-
三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
伊勢 真理子
東北大学大学院工学研究科
-
林 由紀江
東北大学大学院工学研究科
-
鈴木 裕佳
東北大学大学院工学研究科
-
佐藤 裕美
東北大学大学院工学研究科
-
小原 幸子
東北大学大学院工学研究科
-
南雲 亮
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
Kubo Momoji
Department Of Materials Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
南雲 亮
東北大学未来科学共同研究センター
-
Kubo Momoji
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Koyama Michihisa
Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科
-
鈴木 愛
東北大学未来科学共同研究センター
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