自動化超高速化量子分子動力学法によるシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション(プロセス科学と新プロセス技術)
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概要
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シリコン表面における酸化膜の形成メカニズムの解明,とくにドライ酸化・ウエット酸化・ラジカル酸化の初期過程における反応分子とシリコン表面の相互作用の量子論に立脚したメカニズム解明は,半導体デバイスにおけるhigh-k膜形成プロセスにおける基礎的な知見として極めて有用である.本研究では当研究室で開発した自動化超高速化量子分子動力学法プログラムを駆使して,量子化学計算に立脚したシリコン表面の酸化反応プロセスのダイナミクスを解析したのでその一端を報告する.
- 2010-10-14
著者
-
鈴木 愛
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
畠山 望
東北大学工学研究科応用化学
-
高羽 洋充
東北大学工学研究科化学工学
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
林 由紀江
東北大
-
三浦 隆治
東北大
-
遠藤 明
東北大
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
稲葉 賢二
東北大学大学院工学研究科
-
畠山 望
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
Kumagai M
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
南雲 亮
九州大学稲盛フロンティア研究センター
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
三井造船
-
久保 百司
Fracture And Reliability Res. Inst. Graduate School Of Engineering Tohoku Univ.
-
三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
伊勢 真理子
東北大学大学院工学研究科
-
林 由紀江
東北大学大学院工学研究科
-
鈴木 裕佳
東北大学大学院工学研究科
-
佐藤 裕美
東北大学大学院工学研究科
-
小原 幸子
東北大学大学院工学研究科
-
南雲 亮
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
Kubo Momoji
Department Of Materials Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
南雲 亮
東北大学大学院工学研究科
-
南雲 亮
東北大学未来科学共同研究センター
-
Kubo Momoji
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Koyama Michihisa
Department Of Applied Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科
-
鈴木 愛
東北大学未来科学共同研究センター
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