量子分子動力学法に基づく化学機械研磨プロセスシミュレータの開発
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概要
著者
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
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