低エネルギーSi,Geビーム照射によるシリコン表面極浅領域のアモルファス化シミュレーション(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
著者らは、数百原子〜数千原子からなる大規模系において、低エネルギーイオン注入プロセスの原子挙動ダイナミクスの解明を可能とするハイブリッド高速化量子分子動力学計算プログラムの開発に成功した。そこで本研究では、上記の開発プログラムを用いて不純物注入の際に起こるチャネリング抑制に有効であると知られているシリコン基板表面のアモルファス化を、1keVという低エネルギーのSi、Geビーム照射シミュレーションを行い、アモルファス化プロセスの解析を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-10-08
著者
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
増田 剛
東北大学大学院工学研究科
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学未来科学技術共同研究センター
関連論文
- 三次元多孔質構造に基づく色素増感TiO_2電極の電子移動シミュレーション(プロセス科学と新プロセス技術)
- ナノスケルトン創製のための実験融合計算化学によるマルチスケールシミュレーション
- ナノスケルトン創製におけるマランゴニ対流の影響解析
- Theoretic Study of Electronic and Electrical Properties for Nano-Structural ZnO
- 半導体材料の電気伝導度に関する計算化学的検討
- 量子化学計算とQSPR法とによるEu^付活蛍光体の発光ピーク波長予測(プロセス科学と新プロセス技術)
- 自動化超高速化量子分子動力学法によるシリコン表面酸窒化シミュレーション(プロセス科学と新プロセス技術)
- ルミネッセンス計算化学による共役系高分子中のキャリア移動の解析(プロセス科学と新プロセス技術)
- シリコン表面の化学反応性に関する量子化学的検討(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 発光材料の構造とキャリア移動特性に関する計算化学的解析(プロセス科学と新プロセス技術)
- 色素増感型太陽電池のためのマルチスケールシミュレータの開発(プロセス科学と新プロセス技術)
- Tight-binding 量子化学計算法による希土類青色蛍光体BaMgAl_O_:Eu^の電子状態の解明
- その他の分野
- プラズマディスプレイ用電極保護膜の高性能化に向けた計算機シミュレーション(プロセス科学と新プロセス技術)
- 計算化学手法によるダイヤモンドライクカーボン(DLC)の摩擦特性・微細構造の検討(プロセス科学と新プロセス技術)
- 量子分子動力学法によるダイヤモンドライクカーボン膜生成過程の検討(プロセス科学と新プロセス技術)
- 新規計算化学手法を用いたDLCの摩擦特性解析(プロセス科学と新プロセス技術)
- ダイヤモンドライクカーボンの成長と構造特性の分子動力学シミュレーション
- ドーパント導入によるPDP用MgO保護膜の安定性の効果に関する計算科学的検討
- シリコン表面の水素終端処理プロセスに関する計算化学的検討
- シリコン表面の高速化量子分子動力学法による大規模電子状態計算
- ドーパント導入によるPDP用MgO保護膜の安定性の効果に関する計算科学的検討(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- シリコン表面の水素終端処理プロセスに関する計算化学的検討(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- シリコン表面の高速化量子分子動力学法による大規模電子状態計算(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- プラズマディスプレイ用MgO保護膜の劣化プロセスの解明と理論設計(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 自己阻害型p47^の活性化機構に関する分子シミュレーション
- 希土類蛍光体の理論設計のための新規計算手法の開発と青色蛍光体BaMgAl_O_:Eu^の電子状態計算への応用
- 各種担持貴金属触媒における貴金属安定性及び反応性に関する量子化学的検討
- 基礎講座 統合化計算化学手法による燃料電池材料設計(2)量子化学計算の基礎と固体高分子形燃料電池電解質への応用
- シリコン表面への低エネルギーボロン注入プロセスに関する計算化学的検討(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 大規模量子化学計算による担持貴金属触媒における担体効果の解明
- 計算化学によるプラズマディスプレイ用電極保護膜材料の二次電子放出特性評価(プロセス科学と新プロセス技術)
- 超高速化量子分子動力学法に基づく構造解析・分光シミュレータの開発とシリコン半導体への応用(プロセス科学と新プロセス技術)
- 実験との融合を指向した計算化学手法による蛍光体の構造解析(プロセス科学と新プロセス技術)
- 計算化学によるプラズマディスプレイ用MgO保護膜の電子放出特性の評価(プロセス科学と新プロセス技術)
- 分子動力学法によるMgOの力学的物性予測(プロセス科学と新プロセス技術)
- 希土類材料のための大規模高速電子状態計算手法の開発
- 希土類系材料に対する電子数拘束アルゴリズムの開発と量子分子動力学計算への応用
- 低湿度雰囲気における液晶表示装置向け高温ポリシリコン用ガラス表面への水分吸着量
- マルチスケールトンネル電流シミュレータの開発(プロセス科学と新プロセス技術)
- プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと理論設計(プロセス科学と新プロセス技術)
- 三次元多孔質シミュレータの固体酸化物燃料電池燃料極微細構造最適化への応用と燃料極性能指数の提案
- 東北大学 宮本研究室
- 計算化学の応用展開
- マルチスケール配線寿命予測シミュレータの開発とCu配線への応用(プロセス科学と新プロセス技術)
- ペロブスカイト型BaTiO_3の誘電特性解析のための超高速化量子分子動力学法の開発(プロセス科学と新プロセス技術)
- 固体高分子形燃料電池触媒層に対するマルチスケール計算化学アプローチ
- 触媒表面ダイナミクス解析を目的とした超高速化量子分子動力学法の開発
- 複数成分を扱える自動車触媒の経時劣化特性シミュレータの開発と応用
- 不規則性多孔体微細構造最適化のための三次元多孔質シミュレータPOCO^2の開発と応用
- 産業革新のための実践的コンピュータ化学 : 触媒研究への応用
- 高速化量子分子動力学プログラム Colors の希土類への展開
- Tight-Binding Quantum Chemistry Study on Excitation Properties of Perylene with Acrylic Acid on Anatase (001) Surface
- SCF-Tight-Binding 量子分子動力学計算プログラム Colors の開発とマルチフィジックス現象ダイナミクスへの応用
- 膜プロセスシミュレーションのための新規プログラムの開発およびその応用
- コンピューターシミュレーションで見るナノスペースでの分子挙動
- 大規模複雑系材料のための新規電気伝導度推算手法の開発と各種触媒材料への応用
- 電気伝導度推算シミュレータの各種半導体デバイス材料への応用およびWiedemann-Franz則による熱伝導度推算手法の開発
- 高速化量子分子動力学法に基づく電気伝導特性推算法の開発とシリコン材料への応用(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用(プロセス科学と新プロセス技術)
- 計算化学によるSi/SiC量子ドット太陽電池におけるキャリアトラップの解析(プロセス科学と新プロセス技術)
- 自動化超高速化量子分子動力学法によるシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション(プロセス科学と新プロセス技術)
- ルミネッセンス計算化学による高分子発光材料/陰極界面の電子移動解析(プロセス科学と新プロセス技術)
- 燃料電池の理論評価のための実験融合マルチスケール計算化学手法の開発 (特集 PEFCの特性予測・観測・評価)
- 新しい計算化学的アプローチによる機能性分離材料のシミュレーション (特集 分離技術における計算化学の最近の進歩)
- 材料情報学による母体結晶からのEu^付活蛍光体の発光特性予測(プロセス科学と新プロセス技術)
- 高速化量子分子動力学法によるアナターゼ型TiO_2のキャリア移動度の予測
- ハイブリッド量子分子動力学による低エネルギーボロン注入ダイナミクスの解明(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- ハイブリッド量子分子動力学法を用いたアモルファスシリコン基板へのドーピングプロセスの解析(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 低エネルギーSi,Geビーム照射によるシリコン表面極浅領域のアモルファス化シミュレーション(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 大規模系反応シミュレーションを目的とした時間発展加速化分子動力学法の開発
- タンパク質間相互作用推定および評価のためのコンピュータシステムMIAXの応用 (タンパク質間相互作用)
- 基礎講座 統合化計算化学手法による燃料電池材料設計(第6回)三次元多孔質シミュレータに基づくマルチスケール計算化学への展開
- 触媒シンタリングの大規模計算を可能とする新規理論化学計算プログラムの開発と応用
- 三次元多孔質構造モデルの開発と固体酸化物燃料電池燃料極特性評価への応用
- 化学反応過程表現機能を実装した古典分子動力学計算プログラムの開発と応用(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 量子分子動力学法と多孔質シミュレータによる固体高分子形燃料電池電極の理論設計
- プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと再結晶化プロセス
- 電場下での大規模ダイナミクスシミュレーションを可能とするキネティックモンテカルロ法の開発(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- シミュレーションによる材料設計技術
- 固体高分子形燃料電池用プロトン伝導性電解質の計算化学
- 液相系膜分離における計算化学の応用展開
- 産業革新のためのコンピュータ化学 : 現状と将来展望
- 基礎講座 統合化計算化学手法による燃料電池材料設計(第5回)SCF-Tight-Binding量子分子動力学法に基づく電気伝導特性・熱伝導特性の定量予測の基礎と応用
- 高速化量子分子動力学法によるケミカルメカニカルポリッシングプロセスの電子・原子レベルシミュレーション(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 大規模量子化学計算手法によるPt担持触媒の相互作用評価
- 自動化超高速化量子分子動力学法によるシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション
- 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用
- 123 SCF-Tight-Binding量子分子動力学法によるトライボケミカル反応ダイナミクスシミュレーション(OS1.固体物理/流体物理のマルチフィジックス/マルチスケール解析(7),オーガナイズドセッション)
- Ziegler-Natta 触媒の量子分子動力学計算
- 実験融合マルチレベルコンピュータ化学手法の開発とシリコン材料・デバイスへの応用(プロセス科学と新プロセス技術)
- 高速化量子分子動力学法による大規模Si系のバンド計算(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 計算化学を活用したプラズマディスプレイ用保護膜の理論設計:ナノドット構造形成による性能向上の予測
- 計算化学が拓く新しい材料設計--多分野での応用例と展望
- 日本再生のためのコンビナトリアル計算化学 (特集2 次代をつくる実用研究開発)
- 基礎講座 統合化計算化学手法による燃料電池材料設計(第3回)SCF-Tight-Binding量子分子動力学法の基礎と固体高分子形燃料電池電極反応への応用
- 半導体プロセスにおける化学反応の電子・原子レベル制御 : 量子分子動力学法に基づくマルチフィジックスシミュレーターの開発
- 量子分子動力学法に基づく化学機械研磨プロセスシミュレータの開発
- 基礎講座 統合化計算化学手法による燃料電池材料設計(第1回)分子動力学法の基礎と燃料電池への応用