増田 剛 | 東北大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
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久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
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増田 剛
東北大学大学院工学研究科
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古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
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久保 百司
東北大学大学院工学研究科
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DEL CARPIO
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
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Del Carpio
東北大学 大学院工学研究科応用化学専攻
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遠藤 明
東北大学流体科学研究所
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坪井 秀行
東北大学未来科学技術共同研究センター
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坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
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坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科
著作論文
- ハイブリッド量子分子動力学法を用いたアモルファスシリコン基板へのドーピングプロセスの解析(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 低エネルギーSi,Geビーム照射によるシリコン表面極浅領域のアモルファス化シミュレーション(プロセスクリーン化と新プロセス技術)