低湿度雰囲気における液晶表示装置向け高温ポリシリコン用ガラス表面への水分吸着量
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概要
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- 2007-04-05
著者
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
永坂 茂之
新日本空調
-
三浦 邦夫
新日本空調(株)
-
高塚 威
新日本空調(株)技術開発研究所
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
神戸 正純
新日本空調(株)
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