シリコン表面への低エネルギーボロン注入プロセスに関する計算化学的検討
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概要
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- 2003-10-21
著者
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
篠田 克己
東北大学大学院工学研究科
-
今村 詮
広島国際学院大学工学部
-
今村 詮
広島国際学院大学
-
加納 正明
(株)東芝 生産技術センター
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
薮原 秀彦
(株)東芝生産技術センター
-
藪原 秀彦
(株)東芝 生産技術センター
-
宮本 明
未来科学技術共同研究センター
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