超高速化量子分子動力学法に基づく構造解析・分光シミュレータの開発とシリコン半導体への応用(プロセス科学と新プロセス技術)
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概要
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シリコン半導体のサイズ縮小と高集積化にともない,より精密なキャラクタリゼーション手法の開発が求められており,電子・原子レベルシミュレーション手法の活用が期待されている.本稿では,当研究室で最近開発したTight-binding近似に基づく超高速化量子分子動力学法に基づくキャラクタリゼーションシミュレータ(振動スペクトルシミュレータ,原子間力顕微鏡シミュレータ,走査型トンネル電子顕微鏡シミュレータなど)の開発と半導体分野への応用について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-10-02
著者
-
畠山 望
東北大学工学研究科応用化学
-
高羽 洋充
東北大学工学研究科化学工学
-
宮本 明
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
遠藤 明
東北大
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
畠山 望
東北大学大学院工学研究科
-
大沼 宏彰
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
山下 格
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
芹澤 和実
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
Kumagai M
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
小野寺 拓
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
Del Caprio
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
古山 通久
九州大学稲盛フロンティア研究センター
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
古山 通久
東京大学大学院工学系研究科 化学システム工学専攻
-
古山 通久
東京大学大学院工学系研究科
-
坪井 秀行
三井造船
-
Del Carpio
東北大学 大学院工学研究科応用化学専攻
-
久保 百司
Fracture And Reliability Res. Inst. Graduate School Of Engineering Tohoku Univ.
-
Kubo Momoji
Department Of Materials Chemistry Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Kubo Momoji
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
古山 通久
九州大学稲盛フロンティア研究センター/カーボンニュートラル・エネルギー国際研究所
-
高羽 洋充
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科
-
大沼 宏彰
東北大学大学院工学研究科
-
宮本 明
東北大学未来科学共同研究センター:東北大学大学院工学研究科化学工学専攻:東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
芹澤 和実
東北大学大学院工学研究科
-
山下 格
東北大学大学院工学研究科
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