シリコンプラズマ酸化過程の Tight-binding 分子動力学シミュレーション
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2000-04-10
著者
-
遠藤 明
東北大学大学院工学研究科
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
高見 誠一
東北大学大学院工学研究科
-
北島 正弘
金属材料技術研究所
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
北島 正弘
物質・材料研究機構
-
山田 有場
東北大学大学院工学研究科
-
杉左近 潔
東北大学大学院工学研究科
-
北島 正弘
物材機構:筑波大
-
北島 正弘
物質・材料研究機構物性解析研究グループ
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