ハイブリッド量子分子動力学による低エネルギーボロン注入ダイナミクスの解明(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
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概要
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Si表面への低エネルギーB注入ダイナミクスを解明するため、我々は、独自の高速化量子分子動力学プログラムColorsと古典分子動力学プログラムを統合することによりHybrid-Colorsプログラムの開発を行った。Hybird-Colorsプログラムを用いて、厚さ300ÅのSi表面モデルを用いた低エネルギーB注入ダイナミクスのシミュレーションに成功した。様々な入射エネルギー、入射角において、初期位置を変えたB注入シミュレーションを行い、統計的な解析を行った。その結果Hybrid-Colorsプログラムは、低エネルギーB注入ダイナミクスの解明において有用な手法であることが示された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-10-08
著者
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
篠田 克己
東北大学大学院工学研究科
-
伊賀 英樹
東北大学大学院工学研究科
-
今村 詮
広島国際学院大学工学部
-
今村 詮
広島国際学院大学
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
佐川 藍
東北大学大学院工学研究科
-
佐藤 未季
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学未来科学技術共同研究センター
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