高速化量子分子動力学法に基づく電気伝導特性推算法の開発とシリコン材料への応用(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
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概要
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ナノレベルの物性制御が要求される近年のシリコンデバイス開発において、ミクロな原子配置・電子構造からのマクロな電気伝導特性の予測は材料設計に重要な情報を与える。本研究では当研究室で開発した高速化量子分子動力学プログラム"Colors"により求めた分子軌道の空間分布に基づいた電気伝導特性の推算方法を新たに開発し、シリコン材料に適用したのでその結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-09-29
著者
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
-
古山 通久
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
DEL CARPIO
東北大学大学院工学研究科 応用化学専攻
-
久保 百司
東北大学大学院工学研究科
-
Arunabihiram Chutia
東北大学大学院工学研究科
-
遠藤 明
東北大学流体科学研究所
-
朱 志剛
東北大学大学院工学研究科
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
坪井 秀行
東北大学大学院工学研究科
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