Signal Propagation Characteristics in Polyimide Optical Wave-guide with Micro-Mirrors for Optical Multichip Module
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概要
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In order to develop key technologies for a multichip module with optical interconnection, a test module using polyimide optical waveguides (POWs) with micro-mirrors and a photodiode array was successfully fabricated. Through the fabrication of this test module, we developed such basic technologies as POW formation, vertical optical coupling with micro-mirrors buried in POWs, chip bonding with copper bumps, and so on. The signal propagation in POWs was characterized by the detection of vertical output signals at micro-mirrors. From these characteristics, the transmission loss caused by passing a mirror was evaluated to be 0.16 dB.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-04-30
著者
-
小柳 光正
東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻知能システム設計学研究室
-
KOYANAGI Mitsumasa
Dept. Bioengineering and Robotics, Tohoku University
-
KURINO Hiroyuki
Tohoku University
-
KURINO Hiroyuki
Dept. of Machine Intelligence and Systems Engineering, Tohoku University
-
Kurino H
Dept. Of Bioengineering And Robotics Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Hirose Akinori
Department Of Materials Science University Of Osaka Prefecture
-
Hirose Akinori
Dept. Of Machine Intelligence And System Engineering Tohoku University
-
Kurino H
Tohoku University
-
Kurino Hiroyuki
Dept. Of Bioengineering And Robotics Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Kurino Hiroyuki
Department Of Bioengineering And Robotics Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
KUWANA Yasuhiro
Dept. of Machine Intelligence and System Engineering, Tohoku University
-
Kuwana Yasuhiro
Dept. Of Machine Intelligence And System Engineering Tohoku University
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