Ni-Fe-O下地層によるFe-Co-B薄膜の微細化と軟磁気特性(<特集>磁性薄膜及び一般)
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概要
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表面エネルギーが金属膜の約55%程度の低い表面エネルギーを持つNi-Fe-O膜をCo-Cr-Ta(-Pt)膜とFe-Co-B膜のシード層として用いた場合、各膜の粒子サイズ変化について調べた。その結果、Ni-Fe-Oシード層上にCo-Cr-Ta-Pt垂直磁気記録層を堆積することによって粒子サイズの微細化とともに高密度領域でノイズ特性が改善できた.また、Fe-Co-B軟磁性膜においても粒子サイズの微細化とともに面内保磁力が大幅に減少した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-30
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
孔 碩賢
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
岡本 健志
東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター
-
岡本 健志
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
孔 碩賢
東京工業大学大学電子物理工学科
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
-
孔 碩賢
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学
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