マイクロマシーニングを用いた温度無依存Add/Dropフィルタの検討

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概要

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• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-09-07

著者

• 宮本 智之

  東京工業大学 精密工学研究所 マイクロシステム研究センター

• 西山 伸彦

  Corning Incorporated

• 西山 伸彦

  東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻

• 小山 二三夫

  東京工業大学精密工学研究所マイクロシステム研究センター

• 小山 二三夫

  東京工業大学

• 伊賀 健一

  東京工業大学

• 宮本 智之

  東京工業大学

• 古川 則吉

  東京工業大学精密工学研究所

• 西山 伸彦

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