107 塩素プラズマによるシリコンエッチングの基板バイアス効果(O.S.1-2 プラズマ(1))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-09-28
著者
-
南部 健一
東北大学流体科学研究所
-
南部 健一
東北大・流体研
-
南部 健一
東北大流体研
-
高橋 正嘉
東北大流体研
-
佐々木 博志
東北大流体研
-
江戸 隆諭
東北大流体研
-
佐々木 博志
東北大 流体科研
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