111 二周波励起容量結合プラズマにおける基板入射イオンの速度分布関数(O.S.1-3 プラズマ(2))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2001-09-28

著者

• 南部 健一

  東北大学流体科学研究所

• 南部 健一

  東北大・流体研

• 若山 剛

  東北大・院

• 南部 健一

  東北大学

• 南部 健一

  東北大

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