AM05-06-007 高周波マグネトロン放電の自己バイアス : ターゲット電極への電子流入に対する磁場の影響(分子スケールの流れ2,一般講演)
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概要
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We examine the self-bias voltage in RF magnetron discharges by performing PIC/MC simulations. In the case when the magnets are shrunk, more electrons are reflected before reaching the powered electrode due to the stronger mirror effect, therefore the self-bias voltage increases in such a way that the decrease of electrons incident on the electrode is compensated. In the case when the magnetization is strengthened, the reflection plane of an electron due to the mirror effect is unchanged, but the gyration radius becomes small. Therefore, it becomes more difficult for electrons to reach the powered electrode and the self-bias voltage increases.
- 日本流体力学会の論文
- 2005-09-05
著者
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