マイクロプラズマの粒子モデリング(J11-2 量子・分子熱流体工学(2),J11 量子・分子熱流体工学)
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概要
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Plasma processing such as etching, surface treatment, and thin film deposition is widely known as representative applications of nonequilibrium plasmas. A typical size of plasma reactors for conventional use is a few tens centimeter. Recently; microplasmas with the size of several mm to several μm have attracted the attention. The microplasmas have the advantage that such a plasma is generated in a required place with a required volume. When the size of the plasma becomes very small, new aspects of plasma physics may appear that we not considered in the conventional plasmas. The microplasmas are studied using the particle modeling and the structure of microplasmas are examined.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
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