2817 誘導結合アルゴンプラズマ中の電子エネルギー分布
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概要
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The electron energy distribution function (EEDF) is one of the most important quantities in processing plasma. The effects of gas pressure on the EEDF in inductively coupled argon discharges are studied numerically. The EEDF for low gas pressure is close to the Maxwellian, whereas the EEDFs for high gas pressure are lower in the high energy region due to inelastic collisions. Because the energy loss due to inelastic is cancelled out by the energy gain due to strong induced electric field, the EEDF near the glass wall is close to the Maxwellian.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
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