プロセスプラズマとガス流れの粒子シュミレーション -プラズマ反応器の計算機支援設計をめざして-

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1999-05-10

著者

• 南部 健一

  東北大学流体科学研究所

• 南部 健一

  東北大・流体研

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