中間流・分子流のシミュレーション法 - 大面積微小ギャップの排気への応用 -

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2000-10-20

著者

• 南部 健一

  東北大学流体科学研究所

• 南部 健一

  東北大・流体研

• 米村 茂

  東北大流体研

• 渡部 安雄

  筑波技術短期大学機械工学科

• 米村 茂

  東北大学流体科学研究所

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