ねじ溝付きターボ分子ポンプの排気量数値予測法
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概要
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A simple method for predicting the mass flux of a turbomolecular pump with spiral grooves is proposed. The flow approaching the rotor is modeled. The flow is divided into two;one is the flow near the rotor and the other is the flow near the casing. The former is three dimensional and in the transition regime. It is analyzed using the Direct Simulation Monte Carlo method. The latter is treated as an averaged one-dimensional flow, which compensates for a shortage of the mass flux resulting from the former flow. The total mass flux can be obtained as a sum of the mass fluxes due to the two flows. The computational results agree very well with the measured data.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-11-25
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