K-1712 酸素/アルゴン系高周波マグネトロン放電におけるイオンの奇妙な振舞い(J08-3 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ(3))(J08 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ)
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概要
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The characteristics of rf planar magnetron discharges of an O_2/Ar mixture are clarified using the particle-in-cell/Monte Carlo (PIC/MC) method. The simulation is carried out for axisymmetrical magnetic fields. The spatialand temporal behavior of magnetron discharge is examined in detail. The spatial distribution of positive ion density shows a double peak structure. The position of one peak corresponds to the peak point of electron density, while the other peak is located at the peak point of negative ion density. The mechanism of this phenomenon is clearly explained.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
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