K-1709 誘導結合CF_4プラズマの粒子モデル解析(J08-3 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ(3))(J08 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ)
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概要
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For our future analysis of radicals production in inductively-coupled CF_4 plasmas, we analyzed the electromagnetic field in an inductively-coupled plasma reactor. We solved Maxwell's equations by use of ADI method considering the rf antenna current and plasma current. The computational conditions were chosen to be equal to the experimental ones at the industry.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
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