K-1711 表面波励起によるガラス管内プラズマの生成(J08-3 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ(3))(J08 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ)
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概要
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Surface-wave excited plasmas (SWPs) are used in plasma processing. It is important for SWP to examine the dispersion relation. We consider the SWP of axisymmetric mode (n=0). This mode is called TM (transverse magnetic) mode. We use an analytical method for the study of this plasma. We present the method for determining the dispersion relation and the electromagnetic field for the SWP in a glass tube.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
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