109 誘導結合CF_4プラズマにおけるラジガル生成(O.S.1-2 プラズマ(1))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2001-09-28

著者

• 南部 健一

  東北大学流体科学研究所

• 南部 健一

  東北大・流体研

• 南部 健一

  東北大学

• 高橋 衛郷

  東北大学

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